弊社実験機バレル型（石英チャンバー）、アルミチャンバー型にてサンプル実験を行っています。
〇おもな処理ガス：酸素、アルゴン、ＣＦ４ 混合含む
〇ワークサイズ バレル型φ300チャンバー：ウエハ2～８インチ 他ウエハ以外
複数処理（縦置き）最大６インチ
１枚処理（横置き）最大８インチ
〇ワークサイズ アルミチャンバー：最大W500×D500
※ワークサイズ要相談
※サンプル実験受付中です。この機会に是非 プラズマ の効果をお試しください。
- 事業概要
- 社名
- 株式会社モリエンジニアリング
- 代表者
- 藤谷 勉
- 本社・工場
- 埼玉県川越市府川８２６－１
TEL. 049-230-6511
FAX. 049-230-6510 - 資本金
- 4000万円
- 設立
- 昭和５１年３月
- 法人設立
- 昭和５５年６月
- 取引銀行
- ①飯能信用金庫三芳支店 ②埼玉りそな銀行鶴瀬支店 ③武蔵野銀行ふじみ野支店
- 業務内容
- プラズマ応用装置の設計、製造
- 主たる製造
- プラズマアッシャー、プラズマクリーナー 高周波プラズマ電源、自動インピーダンス整合器
- 工場敷地
沿革
- 1976年（昭和５１）
- モリエンジニアリングを創業創立
- 1978年（昭和５３）
- IC製造用高周波プラズマ電源及び自動インピーダンス 整合器の開発、製造、OEM納入
- 1980年（昭和５５）
- バッチ式プラズマアッシャーの製造開始 法人設立登記 代表取締役 斉藤 幸
- 1983年（昭和５８）
- 高周波プラズマ電源ソリッドステート化 低ダメージプラズマ電源の特許出願
- 1988年（昭和６３）
- スパッタ用１００MHzソリッドステート電源及び 自動インピーダンス整合器の開発、納入
- 1991年（平成３）
- 新社屋工場竣工 土地1,980㎡、建物825㎡
- 1993年（平成５）
- 販売実績累計台数 ※アッシング装置（約４００台）RF電源、自動インピーダンス整合器（各約３０００台）
- 1994年（平成６）
- アッシャー、エッチャー自動機製造及び 代理店販売開始
- 1995年（平成７）
- RIEプラズマクリーナー製造開始
- 1997年（平成９）
- RF-VIプローブ／プロセッサ製造開始
- 1998年（平成１０）
- スーパークリーナーV１０００／V１５００X販売開始
- 1999年（平成１１）
- 基板両面処理量産用バッチ式プラズマクリーナ
- 2000年（平成１２）
- コンパクトプラズマクリーナーCV６００販売開始
- 2001年（平成１３）
- V６０００輸出開始
- 2002年（平成１４）
- 低周波電源販売開始（10KHz〜100KHz、１５００W）
- 2003年（平成１５）
- マガジン対応２電源方式プラズマクリーナー販売開始 リールtoリール自動クリーニング装置 RPLシリーズ販売開始
- 2004年（平成１６）
- ２周波プラズマクリーナーDSV-３０００E販売開始
- 2005年（平成１７）
- 簡易型モールド金型プラズマクリーナー開発開始
- 2006年（平成１８）
- ISO9001/14001 認証取得 ２分岐方式マイクロ波プラズマクリーナー SMV-1500 販売開始
- 2007年（平成１９）
- ２分岐方式マイクロ波バッチ式１２"アッシャー開発開始
- 2008年（平成２０）
- 学連携製品開発スタート
- 2009年（平成２１）
- 新モールド金型クリーナー開発
- 2010年（平成２２）
- 新型汎用アッシャー販売開始
- 2011年（平成２３）
- 高密度プラズマ装置の製品化
- 2018年（平成３０）
- 会社移転 川越市府川へ移転する
- 2019年（令和元年）
- ヤマト科学(株)グループとなる
- 202１年（令和３年）
- 代表取締役社長：藤谷 勉 就任
