サンプル実験受付中 目的とプラズマ処理法 弊社実験機バレル型(石英チャンバー)、アルミチャンバー型にてサンプル実験を行っています。 〇おもな処理ガス:酸素、アルゴン、CF4 混合含む 〇ワークサイズ バレル型φ300チャンバー:ウエハ2~8インチ 他ウエハ以外 複数処理(縦置き)最大6インチ 1枚処理(横置き)最大8インチ 〇ワークサイズ アルミチャンバー:最大W500×D500 ※ワークサイズ要相談 ※サンプル実験受付中です。この機会に是非 プラズマ の効果をお試しください。