弊社実験機バレル型（石英チャンバー）、アルミチャンバー型にてサンプル実験を行っています。
〇おもな処理ガス：酸素、アルゴン、ＣＦ４ 混合含む
〇ワークサイズ バレル型φ300チャンバー：ウエハ2～８インチ 他ウエハ以外
複数処理（縦置き）最大６インチ
１枚処理（横置き）最大８インチ
〇ワークサイズ アルミチャンバー：最大W500×D500
※ワークサイズ要相談
※サンプル実験受付中です。この機会に是非 プラズマ の効果をお試しください。
親水性効果（濡れ性）
O2プラズマによる濡れ性効果
撥水性効果
ＣＦ４プラズマによる撥水効果
RIE効果
アルゴンプラズマによるRIEモードエッチング効果
（銅板に左半面へマスキングをし処理後はがした状態。左半面未処理、右半面処理済み）
チタン膜除去
- Ｏ２+ＣＦ４混合プラズマによるチタン膜除去
DPモード
有機物除去に有効
RIEモード
有機物、無機物除去に有効
DFモード
DPプラズマモードに比べ電気的ダメージが少ない
