弊社実験機バレル型（石英チャンバー）、アルミチャンバー型にてサンプル実験を行っています。
〇おもな処理ガス：酸素、アルゴン、ＣＦ４ 混合含む
〇ワークサイズ バレル型φ300チャンバー：ウエハ2～８インチ 他ウエハ以外
複数処理（縦置き）最大６インチ
１枚処理（横置き）最大８インチ
〇ワークサイズ アルミチャンバー：最大W500×D500
※ワークサイズ要相談
※サンプル実験受付中です。この機会に是非 プラズマ の効果をお試しください。
○このクラスならではのSUSチャンバー搭載、エアーオペレーション駆動による本格のプラズマ装置。実験機、準生産機として最適 (当社e300からの後継機）
○ＤＰ／ＲＩＥ上下段分割型によりモード切替不要
○マスフローコントローラ、真空センサ、２０レシピ条件設定などの操作性に配慮
〇８インチタッチパネルで操作、表示も楽々
| 型式 | MX-300S |
|---|---|
| モード | ＤＰ／ＲＩＥ（上下段分割型 ） |
| チャンバーサイズ |
SUSチャンバー W310×D220×H140（mm） |
| 電極間距離 | 60mm |
| 電極ステージ | SUS製 240×160（mm） |
| ＲＦ出力 | 300W 13.56MHz |
| 処理ガス | O2またはＡｒ （いずれか選択） |
| オプション | － |
| 外形寸法 | W532×D600×H545 |
| 真空ポンプ | 0.75kW相当 |
| 電源・設備容量 | ３相200V 2.9KVA |
