MPA-1000


○MPA-1000/MPA-600は、モリエンジニアリング社の最も基本的なコア商品として
永年ご愛顧をいただいております高信頼性バッチ型プラズマ装置です。


○大型高純度石英硝子製バレルチャンバーは半導体ウエハのアッシャー処理のほかに、色々な材料のプラズマプロセスアプリケーションに適合する幅広い用途の量産機としてご利用いただけます。

○金属、セラミックス、プラスチックス等のクリーニング、デスミア(汚染物除去)、表面改質処理等でますます活用が期待されています。

技術情報1

 

         処理画面               データーロギングオプション)

型式 MPA-1000
  モード DP
 チャンバーサイズ
石英 φ300×L500(mm)  
 RF出力 100~1000W 13.56MHz
 処理ガス種 O2と他1種選択
 オプション APC、手動アングルバルブ、キャリア、ヒーター、データーロガー
外形寸法 W640×D1000×H1600(mm)
真空ポンプ 2.2kW相当 
 電源・設備容量 3相200V 6.7kVA