弊社実験機バレル型（石英チャンバー）、アルミチャンバー型にてサンプル実験を行っています。
〇おもな処理ガス：酸素、アルゴン、ＣＦ４ 混合含む
〇ワークサイズ バレル型φ300チャンバー：ウエハ2～８インチ 他ウエハ以外
複数処理（縦置き）最大６インチ
１枚処理（横置き）最大８インチ
〇ワークサイズ アルミチャンバー：最大W500×D500
※ワークサイズ要相談
※サンプル実験受付中です。この機会に是非 プラズマ の効果をお試しください。
○13.56MHz真空プラズマによるリールtoリール装置
巻きだし、巻取り、処理室を備え、巻きずれ補正EPC搭載により巻きムラ、シワを低減
リールtoリール
| 型式 | RPL-4000 |
|---|---|
| モード | ＤF |
| チャンバー構成 |
巻きだし+処理室+巻き取り |
| 電極構成 | 5組 300×500（ｍｍ） |
| ＲＦ出力 | 1000～4000W 13.56MHz |
| 処理ガス種 | O2+ＣＦ４ |
| 搬送部 テープ送り速度 | 1.0～4.0m／min |
| 搬送部 ワーク幅 | 250～260（ｍｍ） |
| 搬送部 巻き取り精度 | ±0.5（EPC搭載） |
| 装置構成 | 装置+発振器+真空ポンプ 、 別途（排ガス処理装置、温水チラー） |
| 外形寸法 | WH2865×D1400×2100 |
| 真空ポンプ | 11.0kVA（6.5k+4.0ｋ） |
| 電源・設備容量 | ３相200V 52.0kVA |
