○このクラスならではのSUSチャンバー搭載、8インチタッチパネル、エアーオペレーション駆動による本格のプラズマ装置。実験機、準生産機として最適
○ DP/RIE上下段分割型によりモード切替不要
○マスフローコントローラ、真空センサ、20レシピ条件設定などの操作性に配慮
○このクラスならではのSUSチャンバー搭載、8インチタッチパネル、エアーオペレーション駆動による本格のプラズマ装置。実験機、準生産機として最適
○ DP/RIE上下段分割型によりモード切替不要
○マスフローコントローラ、真空センサ、20レシピ条件設定などの操作性に配慮
○φ300×L500石英チャンバー
○大型高純度石英硝子製バレルチャンバーは半導体ウエハのアッシャー処理のほかに、色々な材料の プラズマプロセスアプリケーションに適合する幅広い用途の量産機としてご利用いただけます。
○金属、セラミックス、プラスチックス等のクリーニング、デスミア(汚染物除去)、表面改質処理等で ますます活用が期待されています。
○φ250×L400石英チャンバー
○大型高純度石英硝子製バレルチャンバーは半導体ウエハのアッシャー処理のほかに、色々な材料の プラズマプロセスアプリケーションに適合する幅広い用途の量産機としてご利用いただけます。
○金属、セラミックス、プラスチックス等のクリーニング、デスミア(汚染物除去)、表面改質処理等で ますます活用が期待されています。