弊社実験機バレル型(石英チャンバー)、アルミチャンバー型にてサンプル実験を行っています。
〇おもな処理ガス:酸素、アルゴン、CF4 混合含む
〇ワークサイズ バレル型φ300チャンバー:ウエハ2~8インチ 他ウエハ以外
複数処理(縦置き)最大6インチ
1枚処理(横置き)最大8インチ
〇ワークサイズ アルミチャンバー:最大W500×D500
※ワークサイズ要相談
※サンプル実験受付中です。この機会に是非 プラズマ の効果をお試しください。
〇金型への付着物をプラズマにて灰化して除去 。金型洗浄(対象:ゴム)
〇プラズマ処理により金型へのダメージを低減、細部への処理も可能
〇ポンプへのダメージ低減の為装置-ポンプ間にトラパックエレメントを搭載
型式 | PCS-3000 |
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モード | DP |
チャンバーサイズ | 材質:アルミニウム W620×D500×H650(mm) |
電極サイズ | W300×H400×t60 |
RF出力 | 1000~3000W 13.56MHz |
O2+CF4 | |
装置構成 | 装置(発振器含)+トラパックエレメント+真空ポンプ + 排ガス処理装置別途 |
外形寸法 | W900×D1000×H1695(mm) |
真空ポンプ | 3.7+2.2kW相当(10.5KVA) |
電源・設備容量 | 3相200V 23.0kVA |